正航儀器整理放射性電離真空計的工作原理圖
利用放射性同位素輻射出來的α粒子或α粒子對氣體分子的電離作用制成的真空計稱為放射性電離真空計，其結構如圖21所示。
圖21：放射性電離真空計結構
放射性電離真空計由放射性電離規管和測量儀器兩部分組成。放射性電離規管主要由放射性同位素源B、圓筒形陽極A和離子收集極c組成。測量儀器主要由離子流測量放大器F、輸出表G和陽極電源E組成。
當放射性同位素輻射出來的高能α或β粒子在規管內與氣體分子碰撞時，使氣體分子電離，在一定壓力范圍內，電離所產生的離子流與氣體壓力有如下關系：
Ii=Sp (14)
式中Ii——離子流
p——被測壓力
S——規管靈敏度，其值與氣體種類及規管結構有關，可以通過校準得到。所以，當規管結構確定之后，由離子流的大小就能得知被測壓力p。
這種真空計所使用的放射性同位素的強度較弱，對人體為安全劑量。
其壓力測量范圍為0.1～104Pa。它的讀數與氣體種類有關。
